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大陆半导体设备研发进展  来源:    
大陆对当前的产业情形并非没有准备。作为半导体产业链的基石,近年来,海外屡屡针对大陆半导体技术发展设置障碍,国内半导体设备企业不得不加速研发进展。
 
不过就当前而言,国产半导体设备厂商产品主要还是在 28nm 及以上成熟制程节点实现了工艺、技术和产品的大部分覆盖,14nm及更先进的制程节点目前仍在突围中,暂时没有传出突破性进展。根据2021年市场销售数据显示,大陆半导体设备企业在去胶设备(国产化率大于90%)、清洗设备(大于20%)、刻蚀设备(约20%)、热处理设备(约20%)、CMP设备(18%)等领域国产率较高,在薄膜沉积设备(6%)、检测设备(2%)、涂胶显影设备(2%)、离子注入设备(2%)、光刻机(0的突破)国产率处于较低水平。
 
整体来看,近年来在国内需求中,国产半导体设备中标数有大幅提升,各晶圆厂为保障自身供应链安全,加快了国内外半导体设备备货步伐。东方证券在今年3月有报告指出,目前半导体设备国产化率整体在15%左右。
 
未来国产半导体设备怎么走,各国的出口管制细则已经指明了道路。
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